Zeta-388白光共聚焦顯微鏡：Zeta-388 Optical ProfilerZeta-388支持3D量測(cè)和成像功能，并提供整合隔離工作臺(tái)和晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。該系統(tǒng)采用ZDot 技術(shù)，可同時(shí)采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩）無(wú)限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像。

產(chǎn)品型號(hào)：Zeta-388

更新時(shí)間：2025-12-30

廠商性質(zhì)：代理商

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產(chǎn)品介紹

Zeta-388支持3D量測(cè)和成像功能，并提供整合隔離工作臺(tái)和晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。該系統(tǒng)采用ZDot技術(shù)，可同時(shí)采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩）無(wú)限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像。Zeta-388具備Multi-Mode（多模式）光學(xué)系統(tǒng)、簡(jiǎn)單易用的軟件、低擁有成本，以及SECS / GEM通信，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。

產(chǎn)品描述

Zeta-388光學(xué)輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測(cè)量系統(tǒng)。 Zeta-388繼承了Zeta-300的功能，并增加了晶圓盒至晶圓盒機(jī)械臂，可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。該系統(tǒng)采用ZDot技術(shù)和Multi-Mode (多模式)光學(xué)系統(tǒng)，可以對(duì)各種不同的樣品進(jìn)行測(cè)量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理，以及納米至毫米級(jí)別的臺(tái)階高度。

Zeta-388的配置靈活并易于使用，并集合了六種不同的光學(xué)量測(cè)技術(shù)。ZDot測(cè)量模式可同時(shí)收集高分辨率3D掃描和True Color無(wú)限遠(yuǎn)焦距圖像。其他3D測(cè)量技術(shù)包括白光干涉測(cè)量、Nomarski干涉對(duì)比顯微鏡和剪切干涉測(cè)量。ZDot或集成寬帶反射計(jì)都可以對(duì)薄膜厚度進(jìn)行測(cè)量。Zeta-388也是一款顯微鏡，可用于樣品檢查或自動(dòng)缺陷檢測(cè)。Zeta-388通過(guò)提供臺(tái)階高度、粗糙度和薄膜厚度的測(cè)量以及缺陷檢測(cè)功能，以及晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。